上海纳动纳米位移技术有限公司

产品描述
PK3L170-100U是一款超薄的压电纳米扫描台，可提供100μm行程，由于其超薄的厚度使其可以与各种类型的倒置显微镜配合使用。
PK3L170-100U压电陶瓷扫描台的中心拥有一个60x75mm的长方形孔径，该尺寸刚好可以把载玻片放置在该平台上，可安装样品夹。三维压电陶瓷扫描台，厚度只有28mm，因此十分容易集成到倒置显微镜上。
这款压电扫描台均可配合低分辨率的平移台使用形成高精度位移台。
利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PK3L170-100U位移台可提供最佳的性能。
平台因采用压电陶瓷作为驱动元件配置高精度位置传感器，可实现高精度和快速的闭环响应。PK3L170-100U压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）版本。
产品特性
—XYZ位移：100μm（闭环）
—中孔尺寸：60x75mm
—最大承载能力：500g
—超薄紧凑型设计
—高精度柔性导向
选配功能
—可定制转接装置及中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择XYZ轴版本（80μm）
应用领域
—倒置/正立扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵