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无油隔膜真空泵在使用过后，一般都是出现过滤材料脏了或者消音器脏了，这些“脏”问题都会使空气流通不畅，并且会引起过热和噪音过大，所以应定期检查泵头内的过滤材料。
如果有需要，用酒精清理气室。禁止用有机化合物，酸类，腐蚀性的，易燃的溶剂清洗，禁止润滑任何部位，否则会影响泵的使用寿命。
您可以将泵返回厂内进行维修，或者按照一下步骤进行安装。每台无油隔膜真空泵都包括了以下的部件：真空压力表（-0.1Mpa）1块，连接胶管1根，消音器一块，说明书一份。具体步骤为：
1、断开电源
警告：维修前一定要断开电源，以免人员伤亡。
2、松开压力阀，放出泵体内的气体。
3、拔掉胶管
4、卸下压力表，记住压力表的安放位置，卸下四通阀。
5、拧下泵头处的6个内六角螺丝，打开气室，留存好螺丝。
6、气室的反面的凹槽内有密封圈，如果密封圈已经破损，请丢弃；气室内有过滤棉，如果脏了请丢弃。
7、气室下方是圆形的膜腔（安装有阀片），拔出膜腔。
8、检查阀片（黑色橡胶的以及不锈钢的）是否老化破损，如果破损了或者过脏，请进行更换或者清理。只需拧下螺丝即可。
9、膜腔下方为黑色的膜片，用小压盖固定住。拧开小压盖上的三个螺丝，留存好螺丝，取下压盖，肉眼观察膜片是否破损，如有破损或者老化严重，请更换。
10、如果需要，用水系的溶剂清洗无油隔膜真空泵头，或者用高压气体吹走脏物。
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无油隔膜真空泵